最先端オートメーションのパイオニアであるオムロン株式会社と多種多様な電子機器に半導体を提供する世界的半導体メーカーのSTマイクロエレクトロニクス（NYSE：STM、以下ST）は、次世代スマートガスメータ向けMEMS（Micro-Electro-Mechanical System）フローセンサの開発を完了しました。オムロンは、サンプル出荷を2012年11月より開始します。

本フローセンサは、オムロンの最先端の熱式MEMSフローセンサチップとSTが開発した専用の高性能アナログ･フロントエンドICを統合し開発しました。このICは直線性、温度、熱伝導性とガス組成の適応性に優れた補正アルゴリズムを内蔵しているため、温度と圧力変動の影響を受けずに流量計測ができます。また、組み込みソフトによりガス組成の変動による影響を補正するため、設置現場での調整が不要になります。

なお、本フローセンサを搭載したガスメータの展示モデルが、ドイツのミュンヘンで開催される「Electronica 2012」（2012年11月13日～16日）のSTブースにて、出展されます。

開発の背景

近年の省エネと環境に配慮した技術への関心の高まりに伴い、従来の機械式ガスメータより小型で低コストの遠隔自動検針機能つき高性能電子スマートガスメータと交換する動きが加速してきています。スマートガスメータのグローバル市場は2015年には年間1000万台を越える見通しです（※1）。

※1 出所：Pike Research Smart Gas Meter レポート

特長

優れた再現性と高精度の気体流量測定。
ガス物性を利用したオムロンの補正理論により、地域や日々のガス組成比率の変動に対して補正を実施。ガスメータ出荷時や設置現場でのガス種設定が不要。
流体解析技術を用いたオムロン独自のサイクロン方式によるダスト分離構造「DSS(Dust Segregation System)」によって、ガス配管内部のダストを分離してセンサチップへの影響を軽減することで高信頼性を実現。
STが開発した測定アルゴリズムが消費電力を低減し、ガスメータに要求される電池の長寿命化を実現。

主な仕様

	G4	G6
計測流量範囲	0 to 7.2m3/h	0 to 12m3/h
精度	3%RD（0.04 to 0.6m3/h） 1.5%RD（0.6 to 6m3/h）	3%RD（0.06 to 1m3/h） 1.5%RD（1 to 10m3/h）
ガス組成補正	有り（※2）
使用温度範囲	-25～55℃（温度特性：0.5％RD/10℃）
防塵構造	EN14236に準拠したダスト試験対応（※３）
消費電力	0.051mA/h（※4）
出力方式	I2C
外形寸法	81.7mm(L)、55.1(W)、62.3(H)

※2：使用するガス種範囲に合わせて、補正係数を個別に設定します。補正可能ガス種範囲については問合せください。
※3：5.7 Immunity to contaminants in gas stream
※4：測定条件による。

発売時期

2013年3月（欧州を除く）

販売目標

2015年度　30億円（オムロンの販売目標）

センサ外観

センサ外観

基板

基板写真

STマイクロエレクトロニクスについて

STは、Sense & Powerおよびマルチメディア・コンバージェンス分野の多種多様なアプリケーションに半導体を提供する世界的な総合半導体メーカーです。エネルギー管理・省電力からデータ・セキュリティ、医療・ヘルスケアからスマート・コンスーマ機器まで、そして、家庭、自動車、オフィスおよび仕事や遊びの中など、人々の暮らしのあらゆるシーンにおいてSTの技術が活躍しています。STは、よりスマートな生活に向けた技術革新を通し、「life.augmented」の実現に取り組んでいます。2011年の売上は97.3億ドルでした。さらに詳しい情報はSTのウェブサイト（http://www.st-japan.co.jp）をご覧ください。

詳細お問合せ先: オムロン株式会社
マイクロデバイス事業推進本部
マイクロデバイス事業部
営業推進部商品企画課
福本　昌滋
〒520-2362　滋賀県野洲市市三宅686-1
TEL: 077-588-9200
e-mail: masashige_fukumoto@omron.co.jp; STマイクロエレクトロニクス
報道関係お問い合わせ先
〒108-6017 東京都港区港南2-15-1
品川インターシティA棟
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コーポレートコミュニケーション部　内芝
TEL : 03-5783-8220　FAX : 03-5783-8229; お客様お問い合わせ先
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アナログ・MEMS・パワー製品グループ
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オムロンとSTマイクロエレクトロニクス、ガス組成変動を補正する