オムロン株式会社（本社: 京都市下京区、代表取締役社長CEO: 山田義仁）は、変位センサーの新シリーズとして、ファイバー同軸変位センサーの小スポットタイプ「ZW-5000シリーズ」を2017年4月3日から発売します。
「ZW-5000シリーズ」は、微細部品の隙間や位置、形状などを高精度に測定するために、センサーヘッドから照射する光のスポットサイズを従来製品比1/5に絞った非接触型変位センサーです。オムロン独自の「白色共焦点方式」^※2を搭載し、さまざまな素材や形状の測定対象物を、センサーヘッドを移動させながら連続してミクロンオーダーで計測することで、高精度な品質検査と検査時間の短縮を実現します。

ファイバー同軸変位センサーZW-5000

近年、半導体やフラットパネルディスプレイなどデジタル機器の生産現場では、製品の高精細化や薄型化に伴い、微細な電子部品や部品間の狭い隙間の高さや形状の測定が求められています。一方、従来型の変位センサーでは、センサーヘッドから照射する光のスポットサイズが測定対象よりも大きく、正確な測定が行えず、品質検査上の課題となっていました。

そこで、オムロンは独自の光学設計技術により照射光のスポットサイズを最小10μm以内^※3に絞った、「ZW-5000シリーズ」を開発しました。「ZW-5000シリーズ」は、微細部品の隙間や、位置、形状の高精度な計測が必要な半導体やフラットパネルディスプレイの生産現場においても、「白色共焦点方式」による高速・高精度な品質検査を可能にします。

事例：電子チップの隙間測定

※1 当社従来製品に比べスポットサイズが1/5になることにより、移動させながら形状プロファイルを取得する際のピッチを微細化することが可能
※2 白色共焦点方式とは、センサーから白色光を色別（波長別）に集光位置を変化させて照射し、焦点を結んだ波長光だけを反射光として受光し、その色情報にとって高さを測定する原理。従来のレーザー三角測距方式では測定対象物の表面のざらつきのために発生する多重反射光をセンサーが受光する仕組みのため移動測定が不安定となるが、白色共焦点方式では測定に関係のない多重反射光は受光しないため、ざらつきのある粗面を移動しながら測定しても安定して正しく測定が可能
※3 スポット径最小10μm以内は、ZW-S5010の場合

主な特長

微細部品の正確な計測を実現する「最小φ10μm^*以内のスポットサイズ」
微細化が進む部品の形状を忠実に計測できます。

事例：フィルム貼り合わせ位置確認
異材質も曲面も連続して測定する「白色共焦点方式」を搭載
従来の変位センサーでは、測定対象物の高さを平均化処理により測定するため、移動しながらの測定は再現性に課題があり、検査品質の低下が生じていました。
ZW-5000シリーズの「白色共焦点方式」では、さまざまな材質・形状の部品を高速サンプリングで平均化せずに移動しながら正確に連続して測定できます。

さまざまな材質・形状の移動測定プロファイル例

主な仕様

	形ZW-S5010	形ZW-S5020	形ZW-S5030
測定範囲	10±0.5mm	20±1mm	30±2mm
スポット径	φ9μm	φ13μm	φ18μm
静止分解能	0.004μm	0.008μm	0.016μm
リニアリティ	±0.45μm	±0.9μm	±2.0μm
サンプリング周期	最速80μs
外形寸法	30×30×76.25mm
質量	約180g

オムロン株式会社について

オムロン株式会社は、独自のセンシング＆コントロール技術を中核としたオートメーションのリーディングカンパニーとして、制御機器、電子部品、車載電装部品、社会インフラ、ヘルスケア、環境など多岐に渡る事業を展開しています。1933年に創業したオムロンは、いまでは全世界で約38,000名の社員を擁し、110を超える国や地域で商品・サービスを提供しています。制御機器事業では、モノづくりを革新するオートメーション技術や製品群、顧客サポートの提供を通じ、豊かな社会づくりに貢献しています。詳細については、 https://www.omron.com/jp/ja/ をご参照ください。

報道関係からのお問い合わせ先: オムロン株式会社
コーポレートコミュニケーション部
TEL: 075-344-7175
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インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
商品事業本部　センサ事業部
TEL: 075-344-7022

「ファイバー同軸変位センサーZW-5000」を発売