オムロン株式会社（本社：京都市下京区、代表取締役社長：山田義仁）は、50cmの高低差における気圧の変化を正確に検知する「絶対圧センサ」（※1）を2013年7月29日に発売致します。

質の高い運動･生活情報の取得など新商品の期待が高まる身につけられるウェアラブル機器、極め細やかな健康管理を実現するヘルスケア機器など、より正確に高低差を測定したいというニーズにお応えし、当社の中核技術のひとつであるMEMS技術を用いて高精度を実現しました。併せて電池駆動に必要不可欠である低消費電力も世界トップレベルの水準を実現しました。

本絶対圧センサは、CMOS回路部とMEMSセンサ部を一体化したことで、縦3.8mm×横3.8mm×厚み0.92mmの小型パッケージへの実装を実現しています。これにより、モバイル機器など小型な機器への搭載が容易となります。活動量計（※2）に搭載することで、これまで困難であった階段の上り下りなど高低差のある運動の計測を可能にし、より正確な消費カロリーの算出に貢献します。低消費電力の特長を活かし、活動量計などの電池駆動のアプリケーションに適用することで、電池の長寿命化に貢献します。

高精度に高低差をセンシングすることで、立つ・座る・寝る、倒れるなどの人の動きを判別でき、より価値のある情報を提供できます。例えば、フィットネスへの活用、スマートウォッチ、老人の見守りなどのアプリケーションに最適です。

また、ナビゲーションシステムにおけるGPS機能の精度向上やインドアナビゲーションへの展開、気象観測、昨今気圧センサの搭載が加速されているスマートフォン、タブレットPCにも適したセンサです。

当社は今後もオムロン独自のMEMS技術を使って社会に貢献していきます。

なお、当社は、MEMS絶対圧センサを、7月3日(水)から5日(金)まで東京ビッグサイトで開催される「ナノ・マイクロビジネス展」に出展します。

製品の詳細はWEBサイト（https://www.omron.co.jp/ecb/products/sensor/special/mems/）をご覧ください。

（※1）絶対圧センサとは、絶対真空をゼロ基準にして表した圧力を検知するセンサです。
（※2）通常の歩数計とは異なり、歩数測定のみならず、中強度・低強度の運動や生活活動（掃除機をかける、軽い荷物運び、炊事など）における活動量を測定する機器です。

センサの特長

およそ50cmの高低差の気圧変化に相当する6Paの相対圧力精度
0.06Pa（5mm相当）の高分解能
パッケージサイズは、縦3.8mm×横3.8mm×厚み0.92mmと小型サイズ
チップサイズは、CMOS回路部とMEMSセンサ部が一体化で縦1.9mm×横1.9mm×厚み0.5mmと小型サイズ
300～1100hPaと広い検出範囲
電池の長寿命化に貢献する0.3～9.0uAの低消費電流（※3）
温度センサを内蔵し、センサ周囲温度の変化に対する気圧変動影響を補正可能
I²C出力方式を採用し、シリアル通信に対応

（※3）消費電流は測定条件および動作モードに依存します。

技術的特長

本センサは、当社が長年培った半導体回路設計技術、CMOSプロセス技術、およびMEMS技術を活用して、圧力センサ、アナログ増幅回路、デジタル処理回路、不揮発性メモリーなどの各個別機能を1チップに集積しています。
そのため、チップサイズの小型化、高機能化、耐ノイズ性能の向上を実現しています。
また、本センサはMEMS接合技術を用いることで、センサチップ内部の真空チャンバー容積を大きく取ることができ、センサの入力ダイナミックレンジを最大化することを可能としています。その結果、高精度化を実現しています。

主な仕様

項目	仕様
圧力測定範囲	30kPa～110kPa
絶対圧力精度	Typ100Pa
相対圧力精度	±6Pa
絶対温度精度	±2℃
圧力分解能	0.06Pa
温度分解能	0.0002℃
平均電流	0.3～9uA
入出力インターフェース	I²C
電源電圧	2.5V

価格

オープン価格

販売目標

2015年　6億円

担当工場

オムロン（株）野洲事業所

センサ外観

絶対圧センサ

詳細お問合せ先: オムロン株式会社
マイクロデバイス事業推進本部
マイクロデバイス事業部
営業推進部商品企画課
谷口　治彦
〒520-2362　滋賀県野洲市市三宅686-1
TEL: 077-588-9200
e-mail: haruhiko_taniguchi@omron.co.jp

高低差50cm（分解能5mm）を検知できる！ ウェアラブル機器・ヘルスケア機器に最適な世界トップレベルの高精度・低消費電力の絶対圧センサを発売

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