高機能フィルム向け検査装置　スーパーNASP-λ（ラムダ）

オムロン株式会社（本社：京都市下京区、代表取締役社長：山田義仁）は、下記の新商品を開発し、高機能フィルム検査事業に本格参入します。
（2012年11月発売予定）

高機能フィルム向け検査装置　スーパーNASP-λ（ラムダ）

本商品は、1965年から半世紀にわたり当社が蓄積したシート表面検査の技術を応用し、高機能フィルムの検査向けに開発した独自技術「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」を搭載した検査装置です。

高機能フィルムは、液晶ディスプレイや二次電池、ソーラーパネルなど先端工業用途において必要不可欠であり、品質への要求は上昇の一途にあります。従来のフィルム表面検査における課題は、高速生産ラインにおける微小欠陥の検出能力向上でしたが、近年では金属異物の判別や重ねたフィルムの内層欠陥を特定するなどニーズも高度化しています。

このたび新たに開発した独自技術「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」は、フィルム表面に照射する光源を赤、緑、青など複数色で使い分け、カメラでそれぞれの波長の違いを見ることで、従来のモノクロ検査方式では判別できなかった微妙な色合いの表面欠陥を安定して検出することが可能となりました。
この検査技術を応用し、可視光と赤外光の波長の違いを見ることで、金属異物とそれ以外の欠陥を判別することも可能となります（特許申請中）。さらに、光源の照射角度や光学フィルタ等を使い分け、注目したい欠陥だけを浮かび上がらせることで、多層フィルムの表層欠陥と内層欠陥それぞれの判別を可能にする技術の開発にも取り組んでいます。

高機能フィルム向け検査装置　スーパーNASP-λ（ラムダ）は2012年11月発売予定。2013年4月を目処に順次、高速カメラ対応のモデルを投入します。また金属異物判別の技術は、2013年度中の高速生産ラインでの実用化を目指します。

なお、「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」を搭載した実機を、「FPD International 2012（フラットパネルディスプレイの総合技術展）^*」オムロンブースにおいて参考展示します。

^*「FPD International 2012（フラットパネルディスプレイの総合技術展）
会期： 2012年10月31日（水）～11月2日（金）　3日間
会場：パシフィコ横浜

「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」の特長

安定判別
モノクロ検査ではどれも同じに見えて判別できなかった汚れ、ゲル、油シミなどの違いも、欠陥に応じたRGB波形のパターンをもとに検査することで、欠陥の種類まで高精度に判別ができます。
柔軟な拡張性
基本ハードウェアはそのままで最小限の部材交換・追加のみで柔軟に追随できるプラットフォーム構成を採用しています。高機能フィルム向け検査装置スーパーNASP-λ（ラムダ）は微小欠陥の検出能力を追求されるお客様向けにモノクロカメラもご用意しており、モノクロカメラでの検査装置導入後に「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」へ性能強化することも可能です。
省スペースで多フレーム検査
フィルムの検査方法は、穴を検出するには透過検査、キズを検出するには反射検査など、検出したい欠陥によって光の照射方法を組合せることが一般的です。従来は検査の種類が増えるとカメラの台数も追加となり、設置スペースや導入コストが上がることが課題でした。一方で、1ビーム分のカメラで透過検査と反射検査を併用すると照明が干渉して「薄汚れ」や「気泡」などの欠陥を見逃すという課題がありました。
「Multi Wave Sensing（マルチウェーブセンシング）：多波長検査技術」では、1ビーム分のカメラスペースで、透過検査と反射検査を干渉なしに独立して検査ができるため、狭いスペースでも多フレームの検査が可能です。

カメラ仕様

モノクロカメラ

項目	仕様
方式	1ライン
セル数	2048	4096			8192
駆動周波数　（MHz）	80		160	320
最小走査周期　（μs）	30	60	30	15	30

カラーカメラ

項目	仕様
方式	3板式
セル数	2048×3	4096×3
駆動周波数　（MHz）	80
最小走査周期　（μs）	30	60

お客様からのお問い合わせ先

オムロン株式会社
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
検査システム事業部
TEL: 03-6718-3551

報道関係のお問合せ先: オムロン株式会社
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
広報担当　中嶋
TEL: 03-6718-3581

独自の多波長検査技術を開発し、高機能フィルム検査事業に本格参入