オムロン株式会社は、燃料電池システムの高効率運転に最適なフローセンサの新商品を2008年4月から発売します。

<イメージ写真>

形D6F　MEMSフローセンサ (クイックファスナタイプ)

近年、世界中で地球環境に配慮した取り組みが加速しています。燃料電池システムはCO2排出量を大幅に削減できる次世代の発電システムとして積極的に開発が進められており、市場で実証試験の段階に移行しています。
今回開発したMEMSフローセンサは、超微細構造のMEMSフローセンサ素子を搭載し、微流量の気体を高精度に計測できるセンサであり、燃料電池システム向けに組み立て、調整工数を削減できる特長によりシステムトータルのコストダウンに寄与します。
本センサを、2月27日(水)から29日(金)まで東京ビッグサイトで開催される「第4回国際水素・燃料電池展」に出展します。

開発の背景

当社は燃料電池システム開発当初から燃料ガスを流量センシングするフローセンサを提供しており、最適効率で電気エネルギーに変換するための重要部品として貢献しています。
現在、燃料電池システムが早期に普及するためには大幅なコストダウンが大きな課題の一つと言われています。このため燃料電池システムを構成する部品を安価にすることとシステム全体の工数削減を含めたトータルコストダウンの提案が必須となっています。

特長

高精度
1.55mm×1.55mm厚み0.4mmと世界最小クラスのMEMSフローセンサ素子を搭載し、わずかな気体の流量でも高精度なセンシングを可能にしました。
クイックファスナ継ぎ手採用
配管形状を従来のネジ式からクイックファスナ式に変更することにより、作業者の配管工数の削減と作業の均一化を図ることができ、工数費用の削減とシステムとしての信頼性を向上します。（クイックファスナ部の図を下記クイックファスナ部に掲載）
優れた出力電圧の直線性独自の流路設計技術により優れた出力電圧の直線性を実現し、燃料電池システムの直線性補正が不要になり、その調整工数が削減できます。さらに流量測定の精度も向上し、最適効率の運転をサポートできます。
樹脂（難燃性）を使用センサの材質を従来の金属から樹脂に変更することにより、センサ単体の量産時価格を下げることができます。また金属に比べて軽量化できるため、システムへの負担軽減に寄与します。

燃料電池システムの特徴とフローセンサの役割

今日、地球温暖化の問題が顕著になり、環境に優しい取り組みが世界的に注目されています。特にCO2排出量削減については具体的な数値目標が要求されている中、燃料電池システムは次の発電システムとして各社量産に向けて市場での実証試験が行われています。
燃料電池システムの主なアプリケーションとしては、定置用燃料電池、車載用、モバイル用途などがあります。定置用では家庭用として実証試験が行われており、また自動車メーカ各社も実用化を目指し積極的に開発を進めています。家庭用の燃料電池システムは都市ガス、LPGなどの燃料から水素を取り出し、化学反応を通してCO2を生成せずに電気に変換できる環境に優しい次世代発電システムです。
フローセンサは燃料電池システムを効率的に運転するために欠くことができない重要な部品の一つです。効率良く電気エネルギーに変換するためには、水素と酸素の混合比を最適にすることが重要であり、フローセンサは燃料ガス、空気の流量をセンシングし、各ガスが最適な流量になるように制御します。

測定媒体と流量

測定媒体	都市ガス	LPG	空気
流量	0～5L/min	0～2L/min	0～20L/min

その他の用途

計測器、医療機器、半導体装置など

価格

オープン価格

販売目標

MEMS全体の売上 2011年3月期 100億円

担当工場

オムロン倉吉株式会社

構造図

構造図

サイズ

サイズ

クイックファスナ部

クイックファスナ部

詳細お問い合わせ先: エレクトロニクスコンポーネンツビジネスカンパニー
セミコンダクタ統括事業部　マイクロデバイス事業部
〒141-0032　東京都品川区大崎1-11-1　
ゲートシティ大崎　ウエストタワー14F
TEL：03-5435-2045

燃料電池用途のMEMSフローセンサを発売