新製品ウエハマーカSL473DSを発売
- 2007年11月27日
- オムロン レーザーフロント株式会社
オムロン レーザーフロント株式会社(神奈川県相模原市、以下略称OLFT、社長松延赳士)はこのたび小型で印字品質にすぐれたウエハマーカ、SL473DSを製品化し、本日より販売を開始しました。納期は標準仕様で受注後、4ヶ月です。<イメージ写真>
新製品は、1989年発売以来、市場の好評を博している、低価格なデブリの発生のないソフトマーキング(注1)を行う「ウエハマーカ、SL473D2」の後継機種として開発されたものであります。完全空冷型レーザダイオード(LD)励起グリーンレーザ(注2)を搭載し、上位機種のウエハマーカSL473F2、SL473Gと同じ加工品質を実現しております。更に、裏面マーキングの自動切換えを可能にしています。(オプション対応)
本製品は、フットプリントが1.1m(W)x1.2m(D)とコンパクトで低消費電力な装置であり、販売価格は従来機種価格と同程度で高コストパフォーマンスを実現しており、販売台数目標としては3年間で100台を計画しております。
近年、電子・半導体デバイスの多品種化によりウエハの工程、品質管理にロット番号、データコード等をマーキングして識別することが求められております。さらに、デバイス回路の高微細化により高品位なソフトマーキングが必要となり、パルス安定性に優れたLD励起固体レーザを搭載することが必須になってきております。
新製品は、この様な市場ニーズに応えるために製品化されたもので、主な特長は次の通りになっております。
- コンパクトで、高いコストパフォーマンス
- グリーンレーザを標準装備し、視認性が高く、デブリ発生を抑えた高品位なソフトマーキングが可能
- 完全空冷型レーザダイオード(LD)励起レーザを搭載し、マーキングの安定性を改善しに、メンテナンスの負担も大幅に低減
- 裏面マーキングやハードマーキング仕様にもオプションで対応
- 3インチと8インチのウエハサイズに対してはオプション対応可。標準の4~6インチに関しては複数サイズ対応も可(オプション対応)
OLFTのウエハマーカ装置は、日本電気株式会社、レーザーフロントテクノロジーズ株式会社時代を通算して250台を超える販売実績を有しており、国内では半導体プロセスに使用されるウエハマーカとしては、トップシェアを確保しております。新製品の発売にあたり、これらの実績を生かし、(特殊仕様にも柔軟に対応し)、ユーザ支援体制を一層強化していく所存であります。
- 注1) ソフトマーキング:
- ウエハ基板にデブリ(パーティクル)の少ない、浅いドットのマーキングをすることで、均一深さのレーザマーキングが求められる。
- 注2) 安全空冷型LD励起固体レーザ:
- 高ピークパワーでパルス安定性の高いND:YLFレーザ結晶を用いた半導体レーザ(LD)励起による、高効率の冷却水がいらない完全空冷レーザ
ウエハマーカ SL473DSの主な仕様
項目 | 仕様 |
---|---|
サイズ(m) | 1.1(W)×1.2(D)×1.5(H) |
重量 | 600Kg |
用力 | AC200V,15A,1Ф |
レーザー発振器 | LD励起 Nd:YLF SHG(523nm) |
ウエハ | 4~6インチ対応(3,8インチはオプション) 複数ウエハ対応(オプション) |
マーキング | ソフトマーキング 裏面マーキング(オプション) |
文字 | SEMI準拠 |
印字能力 | 60枚/H |
OS | windowsXP |
- 詳細お問合せ先
- オムロン レーザーフロント株式会社
広報担当 窪田 恵一
TEL: 042-700-5004
FAX:042-700-4701