オムロン株式会社は、次の新商品を9月14日から発売します。

・形D6F-P　MEMSフローセンサ（サイクロン構造内蔵）　<イメージ写真>

今回発売する新商品は、近年法制化された24時間換気システムや省エネに対応する家庭やオフィスの空調機器の給排気量のセンシングに最適なフローセンサです。空気中には粉塵などのダストが含まれるため、サイクロン方式によりダストを分離することでフローセンサの耐ダスト性能を大幅に向上しました。
サイクロンとは、流体を旋回させ遠心力と重力を利用してダストを分離することで、当社独自の立体流路構造を開発しサイクロン方式を構成しました。
従来圧力センサで間接的にセンシングしていた流量を直接センシングすることにより空調機器としての精度向上にも寄与します。
形D6F-Pは、10月2日(火)から6日(土)まで幕張メッセで開催される「CEATEC JAPAN 2007」に出展します。

開発の背景

近年、24時間換気システムや省エネ・環境問題が重要視されています。それに伴い空調機器の吸気／排気量の正確な測定や制御が求められており、微小な流量域で高感度にセンシングできるMEMSフローセンサは、空調機器のような微小流量をコントロールするアプリケーションにニーズが高まっています。

新商品概要

サイクロン式MEMSフローセンサは、当社独自のダスト分離構造「D.S.S (Dust Segregation System)」によって構成しています。粉塵の多い環境下においても微小な流量を高感度に検出できるため、各家庭やオフィスなどの空調機器の風量コントロールに最適です。
当商品は、世界最小クラスのMEMSフローセンサ素子を搭載して小型化を実現し、体積で当社従来品比50%とコンパクトな形状のため、小型化が進む民生機器や測定器への組み込みも容易になります。
また、基板への直接実装も可能にし、誤配線の防止と配線工数の削減が図れ、品質の向上とトータルコストの低減に貢献します。
さらに従来片方向の流量センシングを、形D6F-Pでは双方向のセンシングを可能にし、空調機器の給排気や人の呼吸など双方向のセンシングが必要なアプリケーションに対応できます。

特長

当社独自のサイクロン方式によるダスト分離構造「D.S.S」によって、ほこり、粉塵を含む気体を分離してセンサチップへの影響を軽減することで高信頼性を実現
小型化（当社従来機種形D6F-01A1の体積比50％）
基板実装タイプに加え、コネクタタイプも品揃え
双方向の流量センシングにも対応

その他の用途

空調機器、計測器、医療機器、半導体装置など

販売目標

D6Fシリーズ　2008年度　100億円

担当工場

オムロン倉吉株式会社

サイクロン構造（独自ダスト分離構造D.S.S（特許出願中））

サイクロン構造

MEMSチップ

MEMSチップ

フローセンサ計測原理

流れのない状態では、ヒーターを中心とした温度分布が左右対称となりますが、流れを受けた状態ではヒーターの風上側の温度が冷え、風下側が暖まり、温度平衡状態が崩れます。この温度差はサーモパイルの起電力差として現れるため、質量流速、質量流量を計測することができます。

フローセンサ計測原理

詳細お問合せ先: エレクトロニクスコンポーネンツビジネスカンパニー
セミコンダクタ統括事業部　マイクロデバイス事業部
〒141-0032　東京都品川区大崎1-11-1　
ゲートシティ大崎　ウエストタワー14F
TEL：03-5435-2045

サイクロン式MEMSフローセンサを発売