オムロン株式会社は携帯端末やPC等に使用される小型マイクロフォンに対応する超小型、高感度のMEMSマイクロフォンチップを開発し、MEMSマイクロフォンの商品化を計画している小型マイクロフォンメーカーなどに向け、本日よりサンプルの販売を開始いたします。今後、コスト低減を期待できる8インチMEMSラインへ生産を移管し、08年度に正式発売予定です。

今回サンプル販売を開始したMEMSマイクロフォンチップは、当社でこれまで十数年の量産実績のあるMEMSセンサの生産ノウハウをベースに、MEMS設計技術、薄膜形成技術を活かした、量産性および信頼性に優れ、1.2×1.3×0.4mmと世界最小の超小型チップサイズを実現した高感度なMEMSマイクロフォンチップです。
サンプル販売を開始したMEMSマイクロフォンチップ、および8インチで形成された試作品を、7月25日(水)から27日(金)まで東京ビックサイトで開催される「第18回マイクロマシン/MEMS展」に出展します。また、MEMSマイクロフォンモジュールについても商品化を計画しており、今秋にはサンプルの販売を開始する予定です。＜イメージ写真＞

＊2007年7月23日現在　当社調べ

世界最小の超小型

独自の折り返しウエットエッチング技術(注1)によりバックチャンバー(注2)部の断面形状を菱形状とすることで、特性を向上させながらチップの小型化を実現し、MEMSマイクロフォンチップとしては世界最小の1.2×1.3×0.4mmのサイズを達成しました。

高感度

ダイヤフラム(注3)部の独自の4点支持構造、および薄膜制御技術により、MEMSチップの高感度化を実現しました。
なおこのMEMSチップを用いた当社におけるマイクロフォンモジュール試作評価において、－40dBV(1Pa、1kHz)レベルの高感度を確認しています。

定格（推奨値）

仕様（参考値）

（※）当社におけるマイクロフォンモジュール試作評価による値

携帯電話、デジタルスチルカメラ、PC、PDA等用小型マイクロフォン

オムロン株式会社　水口工場

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